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词速通 - 汉语词语词典 › 词语 › 聚焦环
聚焦环和等离子体处理装置,在可以提高处理的面内均匀性的同时,与现有技术比较,还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。 — 拼音 jù jiāo huán,更新 2026-07-12 17:20:05