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对准精度是什么意思_对准精度的含义解释

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光刻机的对准系统(alignment)负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准,对准精度(Alignment Precision,AP)则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。 — 拼音 duì zhǔn jīng dù,更新 2026-07-11 03:08:45

词条详情

拼音duì zhǔn jīng dù
拼音字母dui zhun jing du
首字母dzjd
注音ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ
注音符号ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ
扩展释义:光刻机的对准系统(alignment)负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准,对准精度(Alignment Precision,AP)则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。
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