亦作“以至于”。亦作“以至於”。连词。犹言直至，直到。表示在时间、程度、范围、数量上的延伸。

《左传·昭公十六年》：“恃此质誓，故能相保，以至于今。”金王若虚《五经辨惑上》：“盖人之所以陷于祸败以至失身者，由其愚暗妄行，不知理义故耳。”明胡应麟《少室山房笔丛·丹铅新录八》：“古者妇人屨与男子同，自后妃以至命妇，制度质采，咸有等差，不得踰僭。”明王守仁《大学问》：“君臣也，夫妇也，朋友也，以至於山川鬼神鸟兽草木也，莫不实有以亲之。”如：生产效率提高几倍以至十几倍。

连词。表示由于上文所说的情况，引出了下文的结果。

宋王谠《唐语林·补遗二》：“德宗时，杨炎、卢杞为宰相，皆奸邪用事，树立朋党，以至天子播迁，宗社几覆。”张振金《五峰如指翠相连》：“黎族人民对革命的忠诚，以及对建设山区的远大理想，激励着我，以至于使我忘记了山路的艰险。”