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词速通 - 汉语词语词典 › 词语 › 离子铣
离子铣,也称为离子束刻蚀(IBE),是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。 — 拼音 lí zi xǐ,更新 2026-07-12 01:47:28